Ovo je vrsta destilacije u okruženju visokog vakuuma, za razliku slobodnog puta kretanja molekula materijala, provedena je u procesu destilacije i pročišćavanja materijala osjetljivog na toplinu ili materijala visoke točke vrelišta. Destilacija kratkog puta uglavnom se koristi u kemijskoj, farmaceutskoj, petrokemija, začini, plastika, nafta i druga polja.